[PWC-MEDIA] FOM-persbericht: FOM kent valorisatieproject toe aan ultrasoon schoonmaken

English follows Dutch

FOM kent valorisatieproject toe aan ultrasoon schoonmaken

De Stichting FOM heeft een valorisatiesubsidie toegekend aan een 
consortium van de UvA onder leiding van FOM-werkgroepleider prof.dr. Mark 
Golden. Zijn team gaat samen met de FOM-werkgroep van dr. Rudolf Sprik  en 
met dr. Luigi Scaccabarozzi van ASML onderzoeken of ultrasoon geluid 
gebruikt kan worden om maskers van de nieuwste extreem ultraviolet licht 
(EUV) lithografische machines te reinigen. De jury is van mening dat dit 
projectvoorstel heldere toepassingsdoelstellingen en grote industriële 
relevantie heeft. Het totale project heeft een omvang van 123.000 euro, 
waarvan FOM 53.000 euro bijdraagt, het Van der Waals-Zeeman Instituut van 
de Universiteit van Amsterdam 25.000 euro en ASML 45.000 euro. 

EUV=extreem lastig?
ASML is wereldleider in de ontwikkeling van EUV-lithografie machines voor 
klanten die halfgeleiderchips fabriceren. In gewone UV-lithografie, is 
niet alleen het masker beschermd in een dun hoesje, maar zijn ook de 
kleinste maskerstructuren nog relatief groot. Deze combinatie maakt het 
proces relatief ongevoelig voor kleine stof- en vuildeeltjes, of andere 
verontreinigingen van het maskeroppervlak. In de nieuwste generatie 
chipmachines zet ASML EUV-straling in met kortere golflengtes, om nog 
kleinere details op de chips te kunnen belichten. Met deze EUV-techniek 
moeten de maskers bloot blijven. Daar komt bij dat de kwaliteit van de 
optische afbeeldingen nu ook gevoelig is voor heel kleine stof- en 
vuildeeltjes. Extreem UV gebruiken is dus extreem lastig.

De UvA-werkgroepen zullen in dit valorisatieproject onderzoeken of - net 
als bij de juwelier - ultrasoon geluid gebruikt kan worden om de maskers 
een poetsbeurt te geven: dat verkort de down-time van de machine en 
reduceert de servicekosten. Dr. Freek Massee, recent gepromoveerd op het 
gebied van microscopie van quantummaterie, zal oppervlaktegevoelige probes 
inzetten. Masse wil nagaan of dit idee ook werkt in de praktijk, op 
substraten die ASML ter beschikking stelt.

"Er breekt nu een spannend half jaar aan: op 15 november zal het 
consortium al een duidelijk ja/nee antwoord kunnen geven. Een ja zal 
natuurlijk geweldig zijn, maar ook een duidelijk nee is van nut voor ASML: 
een optie op de to try lijst kan worden doorgestreept. ASML had al haar 
investering toegezegd, maar het valorisatieprogramma van FOM bood ons meer 
financiële speelruimte om versneld dit voor ons out of the box 
onderzoeksidee uit te kunnen zoeken," licht Mark Golden toe. 

Valorisatie@FOM
Dit is het vierde FOM-valorisatieproject  waarmee FOM kennisbenutting van 
natuurkundeonderzoek op universiteiten wil stimuleren. De drie 
valorisatieprojecten voor universitaire werkgroepen die al gestart zijn, 
staan onder leiding van de FOM-werkgroepleiders dr. Rudolf Sprik, prof.dr. 
Martin van Hecke en dr. Davide Iannuzzi.

Meer informatie
Contact: prof.dr. Mark Golden, M.S.Golden@xxxxxx, (020) 525 63 63 

Bijschrift bij de illustratie: De opstelling met oppervlaktegevoelige 
STM/AFM-probes die de onderzoekers gaan gebruiken in het nieuwe 
FOM-valorisatieproject.

Als u geen prijs stelt op de persberichten van de Stichting FOM en u wilt 
uit het adressenbestand verwijderd worden, stuur dan een mail met uw 
gegevens naar info@xxxxxxx 

FOM awards valorisation project to ultrasound cleaning 

The FOM Foundation has awarded a valorisation grant to a consortium from 
the University of Amsterdam (UvA) led by FOM workgroup leader Prof. Mark 
Golden. Together with Dr Rudolf Sprik’s FOM workgroup and Dr Luigi 
Scaccabarozzi from ASML, his team will investigate if ultrasound can be 
used to clean the templates of the latest extreme ultraviolet light (EUV) 
lithographic machines. The jury believes that this project proposal 
contains clear valorisation objectives and has major industrial relevance. 
The project has an overall budget of 123,000 euros, of which 53,000 euros 
from FOM, 25,000 euros from the Van der Waals-Zeeman Institute of the 
University of Amsterdam and 45,000 euros from ASML. 

EUV = extremely difficult? 
ASML is a world leader in the development of EUV lithography machines for 
clients who produce semiconductor chips. In standard UV lithography, the 
template is protected in a thin sleeve but the smallest template 
structures are still relatively large. This combination makes the process 
relatively insensitive to small dust and dirt particles or other 
contaminants on the template surface. In the latest generation of chip 
machines, ASML is using EUV radiation with shorter wavelengths so that 
even smaller details can be etched on the chips. With this EUV technique, 
the templates must remain exposed and the quality of the images is now 
also sensitive to very small dust and dirt particles. Using Extreme UV is 
therefore far from easy. 

In this valorisation project, the UvA workgroups will investigate whether 
– just like at a jeweller – ultrasound can be used to clean     the 
templates: that would reduce the down-time of the machine and the service 
costs. Dr Freek Massee, who recently gained his doctorate in the area of 
microscopy of quantum materials, will use surface-sensitive probes to 
determine of this idea actually works in practice on substrates that ASML 
makes available. 

"An exciting six months lie ahead of us: on 15 November the consortium 
will be able to give a clear yes or no answer. A ‘yes’ would be fantastic 
of course but a clear ‘no’ is also useful for ASML, as then one option on 
the ‘to try list’ can be crossed off. ASML had already promised its 
contribution, but the valorisation programme of FOM gave us more financial 
room to speed up our exploration of this out- of-the-box research idea," 
explains Mark Golden. 

Valorisation@FOM
This is the fourth FOM valorisation project. With this programme FOM 
supports the valorisation of physics research from its institutes and 
university workgroups. The three valorisation projects for university 
workgroups that have already started are under the leadership of FOM 
workgroup leaders Dr Rudolf Sprik, Prof Martin van Hecke and Dr Davide 
Iannuzzi. 

More information
Contact: prof.dr. Mark Golden, M.S.Golden@xxxxxx, +31 (0) 20 525 63 63
Caption: The experimental set-up with surface-sensitive STM/AFM probes 
that the researchers will use in the new FOM valorisation project. 

If you no longer wish to receive the press releases from FOM and you would 
like to be removed from the address list then please send an e-mail with 
your details to info@xxxxxxx

Public Information Office | Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der 
Materie (FOM) | Foundation for Fundamental Research on Matter (FOM) | PO 
Box 3021 - 3502 GA Utrecht - The Netherlands | Van Vollenhovenlaan 659 - 
3527 JP Utrecht - The Netherlands | t: +31 (0)30 600 12 11 |  f: +31 (0)30 
601 44 06 | e: info@xxxxxx| w: http://www.fom.nl | Think before you print!

Follow us on Twitter! www.twitter.com/StichtingFOM

Attachment: Valorisatie project UvA ASML.jpg
Description: JPEG image

Other related posts:

  • » [PWC-MEDIA] FOM-persbericht: FOM kent valorisatieproject toe aan ultrasoon schoonmaken - info